株式会社マルニ
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インパライズ
 

INI型ナノインプリント装置

精密コントロールでナノインプリントを実現。

ここがポイント!
  • ナノレベルの精密な加圧コントロールが可能です。
  • 半導体チップの製造をはじめとするナノインプリントに対応します。
  • 大阪府立大学との共同研究で技術開発しました。(特許取得済)

 

次世代の加工技術を実現するマルニのテクノロジー

限界に近づく写真製版方式
今までの半導体チップ製造は、写真製版方式で電気回路パターンを転写する方法が主流でした。
しかしチップの小型化・高密度化がすすむ中で問題が生じつつあります。写真製版方式では、光の屈折によってエッジがぼやけるため、回路の小型化に限界があるのです。

大阪府立大学と「ナノインプリント」方式を共同研究(特許)
そこで次世代の半導体製造技術を開発するため、大阪府立大学と株式会社マルニは共同で「ナノインプリント」の研究に取り組んでいます。
溝深さ2.1ナノメートルの凹凸が刻まれた金型に、インパライズによって樹脂を押しつけて形を転写する方式です。写真製版方式に比べ、圧倒的に早く低コストで半導体を製造できます。世界的に注目されている最先端のテクノロジーです。
 

ナノ単位の加工を実現する精密コントロール
「ナノインプリント」では、金型に樹脂を押しつけるために、荷重を均一にしたり、材料位置の平行を保ったり、樹脂上の温度センサー・圧力センサーに合わせて動作を制御したりと、非常に精密なコントールが必要です。

最先端の制御技術は、他のマルニ製品にも活きています
マルニの最先端技術は、一般向けインパライズにも活かされています。圧入作業のときに、部品を確実に押し込むと同時に、押し込みすぎて飛び出さないようにする精密な加圧コントロールは、まさにマルニの真骨頂です。

部品を圧入   正確な加圧制御で押し込む